広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻 極微細デバイス工学研究室

計算機室

 

ソフトウェア

計算機室にあるワークステーションには、以下に示すソフトウェアがインストールしてあり、 様々な解析やシミュレーションを行うことができる。

Agilent Technologies

IC-CAP(データ解析およびモデルパラメータ抽出ツール)

隣の絵は、トランジスタの実際の特性になるべくシミュレーション値が近づくようにと、シミュレーション用モデルのパラメータを調整した際の特性カーブです。 モデルパラメータが正しく決まると、それを使って回路全体のシミュレーションができるようになり、回路設計に使えるようになります。 ツールの画面にはフライトシミュレータに負けないくらい目盛つきのレバーやグラフ画面がいっぱいあります(スタッフへ: このような図面を用意してくださいね)。 狙いどおりに特性を一致させることができたら達成感で胸一杯です。 一致させられないときは、何がモデルの理論式に足りていないのだろうかと思いをめぐらせます。 そして理論式を手直しします。

 

ソフトウェアをご提供くださっているアジレント・テクノロジーに感謝いたします。

Selete

HyENEXSS(TCAD)

ソフトウェアをご提供くださっているSeleteに感謝いたします。

Silvaco

SmartSpice(回路シミュレータ)
ATLAS(デバイスシミュレータ)
ATHENA(プロセスシミュレータ)

ソフトウェアをご提供くださっているSilvacoに感謝いたします。

Synopsys

HSPICE(回路シミュレータ)
MEDICI(デバイスシミュレータ)

MEDICIはバイポーラトランジスタやMOSFET等の半導体デバイスの電気的特性を、 キャリアを流体として扱う(drift-diffusion近似)ことによってシミュレートする。

Sentaurus Device(デバイスシミュレータ)
TSUPREM-4(プロセスシミュレータ)

TSUPREM-4はシリコンデバイスの製造プロセス工程(イオン注入、拡散、酸化、 エッチング等)をシミュレートする。

ソフトウェアをご提供くださっているSynopsys社に感謝いたします。

測定室

DC測定

極微少信号測定用マニュアルプローバ PH120 (Karl Suss社)
プリシジョン半導体パラメータアナライザ HP4156B (Agilent Technologies社)

ばらつき測定・CV測定等

S300シリーズ・ウェーハ・プローブ・ステーション (Cascade Microtech 社)

AC測定(Harmonic Distortion, S-Parameter)

解析用プローブステーション SUMMIT-9101 (Cascade Microtech社)

 

Signal Generator E8247C (Agilent Technologies社)
Spectrum Analyzer E4443A (Agilent Technologies社)

ベクトルネットワークアナライザ HP8719ES (Agilent Technologies社)

1/f (低周波)ノイズ測定

ベクトルシグナルアナライザ HP89410A (Agilent Technologies社)

Thermal (高周波)ノイズ測定

解析用プローブステーション SUMMIT-9101 (Agilent Technologies社)

ベクトルネットワークアナライザ E8362B (Agilent Technologies社)
ノイズフィギュアメータ N8974A (Agilent Technologies社)

解析用プローブステーション SUMMIT-9101 (Agilent Technologies社)

Time-of-Flight測定

半導体モードロックパルスレーザ GE100UAN (Time Bandwidth社)
インフィニウムオシロスコープ HP54845A (Agilent Technologies社)
パルスジェネレータ HP8714A (Agilent Technologies社)

光学測定

微細構造観察

金属顕微鏡BX60M-33MU(Olympus社)

基板加工

プリント基板加工システム FP-7LA (ミッツ社)